Рассмотрен процесс получения коррозионно-стойких электродов с помощью экологически чистого метода магнетронного распыления для кислотных электрохимических систем с твердым полимерным электролитом, в частности, топливных элементов, электролизеров, кислородных насосов. Был найден способ получения электродов с электрохимической устойчивостью, близкой к устойчивости платины, но с резко сниженным ее содержанием, что позволит уменьшить стоимость соответствующей установки. В качестве основы для электродов был выбран титан как в форме гладкой фольги, так и в пористом виде, за счёт которого был снижен вес электрода. Наносились покрытия из палладия, платины или платины с углеродом. Толщина и микроструктура покрытий исследовались методами обратного рассеяния Резерфорда и электронной микроскопии. Испытания на стабильность проводили с использованием этих покрытий в качестве анодов в 1 М серной кислоте при 25 ºC и плотности тока 50 мА/см2 . Было продемонстрировано, что покрытия, полученные при распылении с постоянным током и с отрицательным смещением напряжения на титановой подложке, имели самую плотную структуру и высокую стабильность. В импульсном режиме стабильность была ниже и уменьшалась с ростом частоты импульсов при получении более пористой структуры. Сравнение покрытий с различной композицией показало, что платина даёт более высокую стабильность, чем палладий и платина с углеродом. Доказано, что применение этих покрытий резко повышает стабильность электродов и токоприемников из титановой фольги и пористого титана. Получаемые материалы предполагается применять в топливных элементах и электрохимических кислородных насосах.