исполняющий обязанности директора Тарусского филиала института общей физики им. Прохорова РАН
Acting Director Tarusskii branch of A.M. Prokhorov General Physics Institute of RAS
аспирант, младший научный сотрудник Физического института имени П.Н. Лебедева РАН.
graduate student, junior researcher P.N. Lebedev Physical Institute of RAS
Газовыделение из клеевых соединений, использование которых существенно упростит сборку вакуумных электронно-механических приборов, оказывает негативное влияние на работу этих приборов, уменьшая срок их службы. В статье решается задача по снижению скорости газовыделения из клеевых соединений в вакуумных электронно-механических приборах за счет термообработки (сушки), широко применяющейся в промышленности. Для 14-ти промышленных клеев (E505, P102, E207, H74UNF, H77S, 353ND, Resbond 940LE, Resbond 989F, Cerambond 618N, ВК-21, Анатерм 106, К400, ОС-52, ОС-92), пригодных для сборки вакуумных электронно-механических приборов, определен качественный и количественный состав атмосферы остаточного газа, образующегося внутри электронно-механических приборов вследствие газовыделения из клеевых соединений, что позволит подобрать газопоглощающие элементы (геттеры) и режимы их работы для поддержания вакуума. Для повышения достоверности результатов исследования проводились двумя методами: масс-спектральным (масс-спектрометр «MИ-1311») и оптико-акустическим (газоанализатор «Мегакон 10К»). Оценена предельно допустимая скорость газовыделения для точного вакуумного электронно-механического прибора со сроком службы 15 лет. В статье разработана модель кинетики газовыделения для определения режимов процесса термообработки клеев, а именно, температуры, продолжительности и атмосферы (вакуум или воздух), обеспечивающих необходимые для нормальной работы вакуумных электронно-механических приборов скорости газовыделения из клеевых соединений. На основе экспериментально определенных значений скоростей газовыделения компонентов остаточного газа для двух режимов термообработки клеев рассчитываются скорости газовыделения для других режимов и подбираются оптимальные параметры режимов термообработки.
The outgassing from the adhesive joints, the use of which will significantly simplify the assembly of the vacuum electro-mechanical devices, has a negative impact on the operation of these devices, reducing their lifespan. The article solves the problem of reducing the rate of outgassing from the adhesive joints in vacuum electro-mechanical devices due to thermal processing (drying), which is widely used in industry. For 14 industrial adhesives (E505, P102, E207, H74UNF, H77S, 353ND, Resbond 940LE, Resbond 989F, Cerambond 618N, WB-21, Anyterm 106, C, OS-52, OS-92), suitable for assembly electro-mechanical devices, the paper defines qualitative and quantitative composition of the atmosphere of the residual gas generated inside electro-mechanical devices due to outgassing from the adhesive joints that enables us to pick the gas absorption elements and their mode of operation to maintain the vacuum. In order to improve the reliability of the study results, the research was carried out by two methods: mass spectrum (mass spectrometer «MI-1311»), and opto-acoustic (gas analyzer «Megacon 10K»). The paper estimates maximum speed of outgassing for precise vacuum electro-mechanical device with a lifetime of 15 years. There is the developed model of the kinetics of outgassing to determine the modes of thermal processing process adhesives, namely, temperature, duration and atmosphere (vacuum or air), providing the necessary speed outgassing from the adhesive joints for normal operation of the vacuum electro-mechanical devices. Based on the experimentally derived values of the velocities of the outgassing components of the residual gas for the two modes of thermal processing adhesives are calculated outgassing speed for other modes and selected the optimal parameters of thermal processing.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.