alternativeАльтернативная энергетика и экология (ISJAEE)Alternative Energy and Ecology (ISJAEE)1608-8298Международный издательский дом научной периодики "Спейс10.15518/isjaee.2015.08-09.015alternative-47Research ArticleОПТИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ И УСТРОЙСТВАOPTICAL PHENOMENA AND FACILITIESЭВОЛЮЦИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУР ПРИ ТЕРМИЧЕСКОМ И ИМПУЛЬСНОМ ФОТОННОМ ВОЗДЕЙСТВИЯХ (ОБЗОР)EVOLUTION OF THIN-FILM STRUCTURES BY THERMAL AND PULSED PHOTON EFFECTSТураеваТ. Л.TuraevaT. L.

доцент, канд. физ.-мат. наук, зав. кафедрой физики Воронежского гос.технического университета (ВГТУ)

associate Professor, candidate of phys.-math. sciences, head of Department of Physics, Voronezh State Technical University (VSTU)

tlturaeva@mail.ruВоронежский государственный технический университетРоссияVoronezh State Technical UniversityRussian Federation20150811201508-9139147Copyright © Международный издательский дом научной периодики "Спейс, 20152015Международный издательский дом научной периодики "СпейсМеждународный издательский дом научной периодики "Спейсhttps://www.isjaee.com/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://www.isjaee.com/jour/article/view/47

Представлен обзор работ, посвященных исследованию термического воздействия на тонкопленочные структуры Ag-Cu, Au-Pt  и Cu-Ni  и  сравнительному  исследованию  влияния  импульсной фотонной  обработки  излучением  ксеноновых ламп и термической обработки в эквивалентных температурных условиях на процесс рекристаллизации однофазных поликристаллических пленок благородных металлов Au, Pt и Pd.  

Presents a review of works devoted to the study of thermal effects in thin-film patterns of the Ag-Cu, Au-Pt and Cu-Ni and comparative study of the effect of pulsed photon radiation treatment xenon lamps and heat treatment equivalent temperature conditions on the process of recrystallization of single-phase polycrystalline films of noble metals Au, Pt and Pd.

тонкие пленкимежфазные границыдислокации несоответствиярешетка совпадающих узловимпульсная фотонная обработкаструктураориентациятермический отжигthin filmsinterphase boundariesmisfit dislocationslattice matching nodespulse photon processingstructureorientationthermal annealingReferencesPaustovsky A.V., Shelud’ko V.E. Use of laser technology for modification of material properties (a review)// Functional Materials. 1999. Vol. 6, No. 5. P. 964-976.Paustovsky A.V., Shelud’ko V.E. Use of laser technology for modification of material properties (a review) // Functional Materials. 1999. Vol. 6, No. 5. P. 964-976.Двуреченский А.В., Качурин Г.А., Нидаев Е.В., Смирнов Л.С. Импульсный отжиг полупроводниковых материалов. М.: Наука, 1982.Dvurečenskij А.V., Kačurin G.А., Nidaev E.V., Smirnov L.S. Impul'snyj otžig poluprovodnikovyh materialov. M.: Nauka, 1982.Митрофанов А.В., Пудонин Ф.А., Филиппов М.Н. Контраст изображения алюминиевых пленок, прошедших радиационную обработку вакуумным ультрафиолетовым излучением // Поверхность. 1998. № 1. C. 79-86Mitrofanov А.V., Pudonin F.А., Filippov M.N. Kontrast izobraženiâ alûminievyh plenok, prošedših radiacionnuû obrabotku vakuumnym ul'trafioletovym izlučeniem // Poverhnost'. 1998. № 1. C. 79-86Иевлев В.М., Кущев С.Б., Санин В.Н. Твердо-фазный синтез силицидов при импульсной фотонной обработке гетеросистем Si – Me (Me: Pt, Pd, Ni, Mo, Ti) // ФХОМ. 2002. № 1. C. 27-31.Ievlev V.M., Kuŝev S.B., Sanin V.N. Tverdofaznyj sintez silicidov pri impul'snoj fotonnoj obrabotke geterosistem Si – Me (Me: Pt, Pd, Ni, Mo, Ti) // FHOM. 2002. № 1. C. 27-31.Иевлев В.М., Сербин О.В., Кущев С.Б. и др. Синтез пленок карбидов вольфрама при импульсной обработке пленочных гетероструктур W-C // Вестник ВГТУ, Сер. Материаловедение. 2002. Вып. 1.11. C. 87-93.Ievlev V.M., Serbin O.V., Kuŝev S.B. i dr. Sintez plenok karbidov vol'frama pri impul'snoj obrabotke plenočnyh geterostruktur W-C // Vestnik VGTU, Ser. Materialovedenie. 2002. Vyp. 1.11. C. 87-93.Тураева Т.Л. Специальные межфазные границы в пленочных системах Ag-Cu и Au-Pt. Автореф. дис. … канд. физ.-мат. наук. Воронеж, 1990.Turaeva T.L. Special'nye mežfaznye granicy v plenočnyh sistemah Ag-Cu i Au-Pt. Аvtoref. dis. … kand. fiz.-mat. nauk. Voronež, 1990.Бугаков А.В., Иевлев В.М., Тураева Т.Л. Специальные межфазные границы в системах с большим несоответствием параметров кристаллических решеток // ФТТ. 1990. Т. 32, № 9. С. 2711-2718.Bugakov А.V., Ievlev V.M., Turaeva T.L. Special'nye mežfaznye granicy v sistemah s bol'šim nesootvetstviem parametrov kristalličeskih rešetok // FTT. 1990. T. 32, № 9. S. 2711-2718.Иевлев В.М., Тураева Т.Л., Кущев С.Б. Вращение островков Au на поверхности Pt // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1989. № 4. С. 48-52.Ievlev V.M., Turaeva T.L., Kuŝev S.B. Vraŝenie ostrovkov Au na poverhnosti Pt // Poverhnost'. Rent-genovskie, sinhrotronnye i nejtronnye issledovaniâ. 1989. № 4. S. 48-52.Иевлев В.М., Кущев С.Б., Сербин О.В. и дрЭффект двухсторонней импульсной фотонной обработки гетероструктур Me-Si // Вестник ВГТУ. СерМатериаловедение. 2001. № 1.10. С. 77-79.Ievlev V.M., Kuŝev S.B., Serbin O.V. i dr. Èffekt dvuhstoronnej impul'snoj fotonnoj obrabotki geterostruktur Me-Si // Vestnik VGTU. Ser. Materialovedenie. 2001. № 1.10. S. 77-79.Иевлев В.М., Тураева Т.Л., Бурова С.В. Специальные межфазные границы в системе Ag-Cu /ФММ. 1990. Т. 70. № 8. С. 192-195.Ievlev V.M., Turaeva T.L., Burova S.V. Special'nye mežfaznye granicy v sisteme Ag-Cu // FMM. 1990. T. 70. № 8. S. 192-195.Келли А., Гровс Г. Кристаллография и дефекты в кристаллах. М.: Мир, 1974.Kelli А., Grovs G. Kristallografiâ i defekty v kristallah. M.: Mir, 1974.Иевлев В.М., Бугаков А.В., Ирхин Б.П., Тураева Т.Л. Межфазные границы двойникового типа /ФТТ. 1991. Т. 33, № 10. С. 2882-2887.Ievlev V.M., Bugakov А.V., Irhin B.P., Turaeva T.L. Mežfaznye granicy dvojnikovogo tipa // FTT. 1991. T. 33, № 10. S. 2882-2887.Бокштейн Б.С., Копецкий Ч.В., Швиндлерман Л.С. Термодинамика и кинетика границ зерен в металлах. М.: Металлургия, 1986.Bokštejn B.S., Kopeckij Č.V., Švindlerman L.S. Termodinamika i kinetika granic zeren v metallah. M.: Metallurgiâ, 1986.Соколов А.В. Оптические свойства металлов М.: Физ.-мат. лит., 1961.Sokolov А.V. Optičeskie svojstva metallov. M.: Fiz.-mat. lit., 1961.Медведев Э.С., Ошеров В.И. Теория безызлучательных переходов в многоатомных молекулах. М Наука, 1983.Medvedev È.S., Ošerov V.I. Teoriâ bezyzlučatel'nyh perehodov v mnogoatomnyh molekulah. M.: Nauka, 1983.Иевлев В.М., Тураева Т.Л., Латышев А.Н., Селиванов В.Н. Эффект фотонной активации процесс рекристаллизации металлических пленок // Докл. АН 2003. Т. 393, № 4. С. 508-510.Ievlev V.M., Turaeva T.L., Latyšev А.N., Selivanov V.N. Èffekt fotonnoj aktivacii processa rek-ristallizacii metalličeskih plenok // Dokl. АN. 2003. T. 393, № 4. S. 508-510.Иевлев В.М., Тураева Т.Л., Латышев А.Н., Синельников А.А., Селиванов В.Н. Влияние фотонногоблучения на процесс рекристаллизации тонких металлических пленок // ФММ. 2007. Т. 103, № 1. С. 61-66.Ievlev V.M., Turaeva T.L., Latyšev А.N., Sinel'nikov А.А., Selivanov V.N. Vliânie fotonnogo ob-lučeniâ na process rekristallizacii tonkih metalličeskih plenok // FMM. 2007. T. 103, № 1. S. 61-66.Иевлев В.М., Латышев А.Н., Ковнеристый Ю.К., Тураева Т.Л., Вавилова В.В., Овчинников О.В. Селиванов В.Н., Сербин О.В. Механизм фотонной активации процесса рекристаллизации металлических пленок // Химия высоких энергий. 2005. Т. 39№ 6. С. 455-461.Ievlev V.M., Latyšev А.N., Kovneristyj Û.K., Turaeva T.L., Vavilova V.V., Ovčinnikov O.V., Seli-vanov V.N., Serbin O.V. Mehanizm fotonnoj aktivacii processa rekristallizacii metalličeskih plenok // Himiâ vysokih ènergij. 2005. T. 39, № 6. S. 455-461.Ievlev V.M., Latyshev A.N., Selivanov V.N. Turaeva T.L., Sinelnicov A.A. Effect of photon irradiation on the process of recrystallization of thin metallic films // The Physics of Metals and Metallography. 2007. Vol. 103, No. 1. P. 58-63.Ievlev V.M., Latyshev A.N., Selivanov V.N., Turaeva T.L., Sinelnicov A.A. Effect of photon irradiation on the process of recrystallization of thin metallic films // The Physics of Metals and Metallography. 2007. Vol. 103, No. 1. P. 58-63.Тураева Т.Л. Термо- и фотоактивационны процессы эволюции субструктуры тонких металлических пленок // Неоднородные материалы и конструкции. Избр. труды Всероссийской конф. по проблемам науки и технологий. 2013. С. 113-129.Turaeva T.L. Termo- i fotoaktivacionnye processy èvolûcii substruktury tonkih metalličeskih plenok // Neodnorodnye materialy i konstrukcii. Izbr. trudy Vserossijskoj konf. po problemam nauki i tehnologij. 2013. S. 113-129.Тураева Т.Л., Синельников А.А. Эффект фотонного облучения в рекристаллизации тонких пленок Pd // Вестник ВГТУ. 2005. № 1.17. С. 45-48.Turaeva T.L., Sinel'nikov А.А. Èffekt fotonnogo oblučeniâ v rekristallizacii tonkih plenok Pd // Vestnik VGTU. 2005. № 1.17. S. 45-48.Ievlev V.M., Turaeva T.L., Latyshev A.N. Selivanov V.N. Effect of photon activation o recrystallization of metal films // Doklady Physica Chemistry. 2003. Vol. 393, No. 4-6. P. 337-338.Ievlev V.M., Turaeva T.L., Latyshev A.N., Selivanov V.N. Effect of photon activation of recrystallization of metal films // Doklady Physical Chemistry. 2003. Vol. 393, No. 4-6. P. 337-338.Гуманский Г.А., Шпилевский Э.М. Влияни подпороговых излучений на диффузию в металлических системах / В сб. Ядерно-радиационная физика и технология. Тула: ТПИ. 1976.Gumanskij G.А., Špilevskij È.M. Vliânie podporogovyh izlučenij na diffuziû v metalličeskih sistemah / V sb. Âderno-radiacionnaâ fizika i tehnologiâ. Tula: TPI. 1976.Ernst H.-J., Charra F., Douillar L. Interband electronic excitation – assisted atomic scale restructuring of metal surfaces by nanosecond pulsed laser light / Science. 1998. Vol. 279 (5351). P. 679-681.Ernst H.-J., Charra F., Douillar L. Interband electronic excitation – assisted atomic scale restructuring of metal surfaces by nanosecond pulsed laser light // Science. 1998. Vol. 279 (5351). P. 679-681.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.