Абрамов, А., НТЦ тонкопленочных технологий в энергетике
-
№ 10-12 (2017) - ИННОВАЦИОННЫЕ РЕШЕНИЯ , ТЕХНОЛОГИИ, УCТРОЙСТВА И ИХ ВНЕДРЕНИЕ
ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЗМОЖНОСТИ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ РЕАКТОРОВ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ 5-ГО ПОКОЛЕНИЯ (GEN5 PECVD) ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА ВЫСОКОЭФФЕКТИВНЫХ ГЕТЕРОПЕРЕХОДНЫХ КРЕМНИЕВЫХ СОЛНЕЧНЫХ ЯЧЕЕК
Аннотация
ISSN 1608-8298 (Print)