ЭВОЛЮЦИЯ СТРУКТУРЫ С РОСТОМ ТОЛЩИНЫ КОНДЕНСИРОВАННЫХ ПЛЕНОК НЕОРГАНИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ

Проанализированы  эффекты  ионно-плазменного  нанесения  пленочных  покрытий (микро-  и  нанокристаллические композиционные гетероструктуры) с градиентным характером морфологии, фазового и элементного состава, субструктуры и ориентации. Обсуждается перечень подходов к формированию градиентных структур у свободной поверхности для модификации или получения новых свойств материала. Показано, что компоненты плазмы, выступая ассистентами конденсации материала, инициируют механизмы формирования дискретных и компактных, пористых и плотных, изотропных и морфо-анизотропных, аморфных и кристаллических конденсатов. Установлены закономерные связи условий нанесения, морфологических параметров и свойств ионно-плазменного конденсата. 

1. Каштанов П.В., Смирнов Б.М., Хипплер Р. Магнетронная плазма и нанотехнология // УФН. 2007. Т. 177, № 5. С. 473.

2. Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. М.: Энерго-атомиздат, 1989.

3. Иевлев В.М. Структурные превращения в тонких пленках. М.: Металлургия, 1982.

4. Золотухин И.В., Иевлев В.П., Белоногов Е.К., Держнев Д.А., Маркова А.Е. Фрактальная структура фуллерита // Письма в ЖЭТФ. 1998. Т. 67, вып. 9. С. 684-685.

5. Золотухин И.В., Голев И.М., Иевлев В.П., Белоногов Е.К., Держнев Д.А. Структура и термо-ЭДС нанотрубного углеродного депозита, полученного в плазме электрического разряда // Письма в ЖТФ. 2003. Т. 29, № 23. С. 84-85.

6. Иевлев В.М., Белоногов Е.К. Структура двухслойных эпитаксиальных пленок Ag-Al // ФММ. 1983. Т. 56, вып. 2. С. 322-326.

7. Белоногов Е.К., Даринский Б.М., Ильин А.С., Митрохин В.И., Мошников В.А., Харин А.Н., Ярославцев Н.П. Внутреннее трение в пленках на основе Si3N4 и Cu-Se // Изв. РАН. Сер. Физ. 2005. Т. 69, № 8. С. 1168-1170.

8. Хрипунов Г.С., Черных Е.П., Белоногов Е.К., Ковтун Н.А. Гибкие солнечные модули на основе сульфида и теллурида кадмия // ФТП. 2009. Т. 43, вып. 8. С. 1084-1089.

9. Хрипунов Г.С., Копач Г.И., Белоногов Е.К. Пленочные солнечные элементы на основе CdS/CdTe с наноразмерными сопрягающимися слоями // Материаловедение. 2008. № 11. С. 59-63.

10. Белоногов Е.К., Хрипунов Г.С. Размерный эффект, субструктура слоев и свойства солнечных элементов на основе CdS/CdTe // Альтернативная энергетика и экология – ISJAEE. 2009. № 2. С. 76-82.

11. Черемской П.Г., Слезов В.В. Поры в твердом теле. М.: Энергоатомиздат, 1990.

12. Олемской А.И. Уравнение Фоккера-Планка // УФН. 1998. Т. 168, № 4. С. 475-480.

13. Морохов И.Д. Физические явления в улътра-дисперсных средах. М.: Энергоиздат, 1984.

14. Thornton J.A. Impurity effect on structure of metal films // J. Vac. Sci. Technol. 1974. Vol. 11, No. 4. Р. 666.

15. Мовчан Б.А. Композиционные материалы, осажденные из паровой фазы в вакууме. Киев: ИЭС им. Е.О. Патона АН УССР, 1989.

16. Патент № 2109362. МКИ С1 (51) 6Н01G 9/00. Способ модификации поверхности фольги для электролитических конденсаторов / Иевлев В.М., Белоногов Е.К., Бурова С.В., Кущев С.Б., Тураева Т.Л. // Опубл. 20.11.97, Бюл. № 30.

17. Патент №2123738 РФ. МКИ С1 (51) 6Н01G 9/00,9/04. Пористое покрытие для модификации поверхности фольги электролитического конденсатора / Иевлев В.М., Белоногов Е.К., Бурова С.В., и др. // Бюл. № 35. 20.12.1998.

18. Иевлев В.М., Тураева Т.Л., Белоногов Е.К., Исаев А.Ю., Иевлев В.П. Пленочная композиция на основе углерода и оксида алюминия с высокой удельной поверхностью проводящей фазы // Физ-ХОМ. 1998. № 1. С. 104-106.

19. Белоногов Е.К. Формирование композиционных покрытий с высокой открытой пористостью на основе углерода и оксида алюминия / Труды МНПК «Нелинейная динамика металлургических процессов и систем». Липецк, 2003. С. 120-124.

20. Иевлев В.М., Белоногов Е.К., Максименко А.А. Ориентированная конденсация тонких пленок твердого раствора медь–палладий // Горный информационно-аналитический бюл. 2005. С. 132-140.

21. Иевлев В.М., Белоногов Е.К., Максименко А.А. Субструктура и ориентация тонких пленок твердого раствора Cu-Pd // Поверхность. 2008. № 2. С. 66-70.

22. Иевлев В.М., Белоногов Е.К., Максименко А.А Ориентированная кристаллизация тонких пленок Pd–Cu // ФММ. 2008. Т. 105, № 6. С. 608-613.

23. Иевлев В.М., Белоногов Е.К., Максименко А.А., Бурханов Г.С., Рошан Н.Р. Субструктура и свойства толстых пленок палладия // Металлы. 2008. № 1. С. 95-102.

24. Иевлев В.М., Солнцев К.А., Максименко А.А., Белоногов Е.К., Канныкин С.В., Синельников А.А., Синецкая Д.А. Стабилизация упорядоченной структуры тонкой конденсированной фольги твердого раствора Pd-Cu в среде водорода // ДАН. 2015. Т. 460, № 4. С. 422.

25. Иевлев В.М., Максименко А.А., Белоногов Е.К., Канныкин С.В., Сладкопевцев Б.В., Бурханов Г.С., Рошан Н.Р., Чистов Е.М. Ориентированная кристаллизация толстых пленок Pd-Ru в процессе магнетронного распыления мишени // Материаловедение. 2015. № 2. С. 37-40.

26. Патент №2381055 РФ. МКИ С2, (51)ПМК B01D. Способ изготовления композиционных мембран на основе тонких пленок металлов / Иевлев В.М., Белоногов Е.К., Максименко А.А., Рошан Н.Р. // Бюл. № 4. 10.02.2010.

27. Иевлев В.М., Шведова О.Г., Белоногов Е.К., Селезнев А.Д. Ориентация и субструктура пленок ZnO, полученных магнетронным распылением // Неорганические материалы. 1991.Т. 27, № 3. С. 521-525.

28. Белоногов Е.К. Структура, ориентация и фазовый состав пленок Al-Cu, Al-Ag, Al-Ni: Автореф. дис. … канд. физ.-мат. наук. Воронеж, 1983.

29. Иевлев В.М., Белоногов Е.К., Харин А.Н. Синтез и субструктура ориентированных пленок CuInSe2 // Неорганические материалы. 2005. Т. 41, № 1. С. 15–22.

30. Баринов С.М., Белоногов Е.К., Иевлев В.М. Синтез компактных нанокристаллических пленок гидроксиапатита // ДАН. 2007. Т. 412 (3) С. 347-350.

31. Иевлев В.М., Домашевская Э.П., Терехов В.А., Третьяков Ю.Д., Баринов С.М., Белоногов Е.К., Костюченко А.В. Синтез нанокристаллических пленок гидроксиапатита // Конденсированные среды и межфазные границы. 2007. Т. 9, № 3. С. 209-215.

32. Домашевская Э.П., Баринов С.М., Иевлев В.М., Костюченко А.В., Белоногов Е.К. Структура, элементный состав и механические свойства пленок, полученных методом ВЧМР гидроксиапатита // Физика и химия стекла. 2008. Т. 34. С. 798-807.

33. Патент № 2.372.101. МКИ С1, РФ (51)ПМК A61L 27/32. Способ получения на подложке плотного кристаллического кальций-фосфатного покрытия с составом стехиометрического гидроксиапатита / Иевлев В.М., Белоногов Е.К., Костюченко A.B. // Бюл. № 31. 10.11.2009.

34. Иевлев В.М., Баpинов С.М., Костюченко А.В., Белоногов Е.К. Стpуктуpа и механические свойства пленок гидpоксиапатита на титане // Материаловедение. 2010. № 6. С. 22-26.

35. Баринов С.М., Белоногов Е.К., Иевлев В.М и др. Фазовый состав, субструктура и морфология кальцийфосфатных цементов // Конденсированные среды и межфазные границы. 2012. Т. 14(3). С. 285-291.

36. Иевлев В.М., Костюченко А.В., Белоногов Е.К., Сумец М.П., Вахтель В.М., Сидоров Н.В., Па-латников М.Н. Структура и свойства пленок LiNbO3, полученных методом ВЧМР // Перспективные материалы. 2010. № 3. С. 26-33.

37. Белоногов Е.К. Структурные и субструктурные изменения с ростом толщины конденсированных пленок неорганических материалов: Автореф. дис. … д-ра физ.-мат. наук 01.04.07, Воронеж, 2011.

38. Антонова М.C., Белоногов Е.К., Боряк А.В., Вавилова В.В., Иевлев В.М., Канныкин С.В., Палий Н.А. Активируемая фотонной обработкой нанокристаллизация и твердость сплава Fe78P20Si2 // Неорганические материалы. 2015. Т. 51, № 3. С. 333.

39. Демьянов С.Е., Петров А.В., Белоногов Е.К. и др. Наноструктуры с треками быстрых тяжелых ионов // Изв. РАН. 2008. Т. 72, № 9. С. 1262-1264.

40. Демьянов С.Е., Канюков Е.Ю., Петров А.В., Белоногов Е.К., Стрельцов Е.А., Иванов Д.К., Иванова Ю.А. Морфология наноструктур Si/SiO2/Ni с треками быстрых тяжелых ионов в оксиде кремния // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2014. № 8. С. 77.

41. Иевлев В.М., Солнцев К.А., Максименко А.А., Канныкин С.В., Белоногов Е.К., Донцов А.И., Рошан Н.Р. Образование тонкой фольги упорядоченного твердого раствора Pd-Cu с кристаллической решеткой типа CsCl в процессе магнетронного распыления // Докл. Академии наук. 2014. Т. 457, № 6. С. 676.