ЭВОЛЮЦИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУР ПРИ ТЕРМИЧЕСКОМ И ИМПУЛЬСНОМ ФОТОННОМ ВОЗДЕЙСТВИЯХ (ОБЗОР)
https://doi.org/10.15518/isjaee.2015.08-09.015
Аннотация
Представлен обзор работ, посвященных исследованию термического воздействия на тонкопленочные структуры Ag-Cu, Au-Pt и Cu-Ni и сравнительному исследованию влияния импульсной фотонной обработки излучением ксеноновых ламп и термической обработки в эквивалентных температурных условиях на процесс рекристаллизации однофазных поликристаллических пленок благородных металлов Au, Pt и Pd.
Об авторе
Т. Л. Тураева
Воронежский государственный технический университет
Россия
Россия
доцент, канд. физ.-мат. наук, зав. кафедрой физики Воронежского гос.
технического университета (ВГТУ)
Список литературы
1. Paustovsky A.V., Shelud’ko V.E. Use of laser technology for modification of material properties (a review)// Functional Materials. 1999. Vol. 6, No. 5. P. 964-976.
2. Двуреченский А.В., Качурин Г.А., Нидаев Е.В., Смирнов Л.С. Импульсный отжиг полупроводниковых материалов. М.: Наука, 1982.
3. Митрофанов А.В., Пудонин Ф.А., Филиппов М.Н. Контраст изображения алюминиевых пленок, прошедших радиационную обработку вакуумным ультрафиолетовым излучением // Поверхность. 1998. № 1. C. 79-86
4. Иевлев В.М., Кущев С.Б., Санин В.Н. Твердо-фазный синтез силицидов при импульсной фотонной обработке гетеросистем Si – Me (Me: Pt, Pd, Ni, Mo, Ti) // ФХОМ. 2002. № 1. C. 27-31.
5. Иевлев В.М., Сербин О.В., Кущев С.Б. и др. Синтез пленок карбидов вольфрама при импульсной обработке пленочных гетероструктур W-C // Вестник ВГТУ, Сер. Материаловедение. 2002. Вып. 1.11. C. 87-93.
6. Тураева Т.Л. Специальные межфазные границы в пленочных системах Ag-Cu и Au-Pt. Автореф. дис. … канд. физ.-мат. наук. Воронеж, 1990.
7. Бугаков А.В., Иевлев В.М., Тураева Т.Л. Специальные межфазные границы в системах с большим несоответствием параметров кристаллических решеток // ФТТ. 1990. Т. 32, № 9. С. 2711-2718.
8. Иевлев В.М., Тураева Т.Л., Кущев С.Б. Вращение островков Au на поверхности Pt // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1989. № 4. С. 48-52.
9. Иевлев В.М., Кущев С.Б., Сербин О.В. и дрЭффект двухсторонней импульсной фотонной обработки гетероструктур Me-Si // Вестник ВГТУ. СерМатериаловедение. 2001. № 1.10. С. 77-79.
10. Иевлев В.М., Тураева Т.Л., Бурова С.В. Специальные межфазные границы в системе Ag-Cu /ФММ. 1990. Т. 70. № 8. С. 192-195.
11. Келли А., Гровс Г. Кристаллография и дефекты в кристаллах. М.: Мир, 1974.
12. Иевлев В.М., Бугаков А.В., Ирхин Б.П., Тураева Т.Л. Межфазные границы двойникового типа /ФТТ. 1991. Т. 33, № 10. С. 2882-2887.
13. Бокштейн Б.С., Копецкий Ч.В., Швиндлерман Л.С. Термодинамика и кинетика границ зерен в металлах. М.: Металлургия, 1986.
14. Соколов А.В. Оптические свойства металлов М.: Физ.-мат. лит., 1961.
15. Медведев Э.С., Ошеров В.И. Теория безызлучательных переходов в многоатомных молекулах. М Наука, 1983.
16. Иевлев В.М., Тураева Т.Л., Латышев А.Н., Селиванов В.Н. Эффект фотонной активации процесс рекристаллизации металлических пленок // Докл. АН 2003. Т. 393, № 4. С. 508-510.
17. Иевлев В.М., Тураева Т.Л., Латышев А.Н., Синельников А.А., Селиванов В.Н. Влияние фотонногоблучения на процесс рекристаллизации тонких металлических пленок // ФММ. 2007. Т. 103, № 1. С. 61-66.
18. Иевлев В.М., Латышев А.Н., Ковнеристый Ю.К., Тураева Т.Л., Вавилова В.В., Овчинников О.В. Селиванов В.Н., Сербин О.В. Механизм фотонной активации процесса рекристаллизации металлических пленок // Химия высоких энергий. 2005. Т. 39№ 6. С. 455-461.
19. Ievlev V.M., Latyshev A.N., Selivanov V.N. Turaeva T.L., Sinelnicov A.A. Effect of photon irradiation on the process of recrystallization of thin metallic films // The Physics of Metals and Metallography. 2007. Vol. 103, No. 1. P. 58-63.
20. Тураева Т.Л. Термо- и фотоактивационны процессы эволюции субструктуры тонких металлических пленок // Неоднородные материалы и конструкции. Избр. труды Всероссийской конф. по проблемам науки и технологий. 2013. С. 113-129.
21. Тураева Т.Л., Синельников А.А. Эффект фотонного облучения в рекристаллизации тонких пленок Pd // Вестник ВГТУ. 2005. № 1.17. С. 45-48.
22. Ievlev V.M., Turaeva T.L., Latyshev A.N. Selivanov V.N. Effect of photon activation o recrystallization of metal films // Doklady Physica Chemistry. 2003. Vol. 393, No. 4-6. P. 337-338.
23. Гуманский Г.А., Шпилевский Э.М. Влияни подпороговых излучений на диффузию в металлических системах / В сб. Ядерно-радиационная физика и технология. Тула: ТПИ. 1976.
24. Ernst H.-J., Charra F., Douillar L. Interband electronic excitation – assisted atomic scale restructuring of metal surfaces by nanosecond pulsed laser light / Science. 1998. Vol. 279 (5351). P. 679-681.
Рецензия
Для цитирования:
Тураева Т.Л. ЭВОЛЮЦИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУР ПРИ ТЕРМИЧЕСКОМ И ИМПУЛЬСНОМ ФОТОННОМ ВОЗДЕЙСТВИЯХ (ОБЗОР). Альтернативная энергетика и экология (ISJAEE). 2015;(8-9):139-147. https://doi.org/10.15518/isjaee.2015.08-09.015
For citation:
Turaeva T.L. EVOLUTION OF THIN-FILM STRUCTURES BY THERMAL AND PULSED PHOTON EFFECTS. Alternative Energy and Ecology (ISJAEE). 2015;(8-9):139-147. (In Russ.) https://doi.org/10.15518/isjaee.2015.08-09.015
Просмотров:
673
Послать статью по эл. почте 